8" , 12" 标准机型盘面式电控箱设计通过国际半导体设备SEMI S2安全认证符合RoHS规范，洁净度可达Class 1多种感测器侦测各项元件，即时监测设备状态即时影像监控，条码、标签字元辨识，完整追踪生产过程提供客制化晶圆或其他基板搬运需求
8" , 12" 标准机型
盘面式电控箱设计
通过国际半导体设备SEMI S2安全认证
符合RoHS规范，洁净度可达Class 1
多种感测器侦测各项元件，即时监测设备状态
即时影像监控，条码、标签字元辨识，完整追踪生产过程
提供客制化晶圆或其他基板搬运需求
