8" , 12" 标准机型隐藏式电控箱、寻边器设计，衔接窗口最大化通过国际半导体设备SEMI S2安全认证符合RoHS规范，洁净度可达 Class 1多种传感器侦测各项组件，实时监测设备状态提供客制化晶圆或其他基板搬运需求自动压力控制系统，透过环境压力变化，调节风扇转速保持设定值
8" , 12" 标准机型
隐藏式电控箱、寻边器设计，衔接窗口最大化
通过国际半导体设备SEMI S2安全认证
符合RoHS规范，洁净度可达 Class 1
多种传感器侦测各项组件，实时监测设备状态
提供客制化晶圆或其他基板搬运需求
自动压力控制系统，透过环境压力变化，调节风扇转速保持设定值
