高速长行程12”标准机型光栅设计提升安全性符合国际半导体设备SEMI S2安全规范符合RoHS规范，洁净度可达Class 1多种感测器侦测各项元件，即时监测设备状态GUI介面软体，可远端操作指令，整合各装置子系统，提供单一指令格式窗口
高速长行程12”标准机型
光栅设计提升安全性
符合国际半导体设备SEMI S2安全规范
符合RoHS规范，洁净度可达Class 1
多种感测器侦测各项元件，即时监测设备状态
GUI介面软体，可远端操作指令，整合各装置子系统，提供单一指令格式窗口
